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• 發(fā)布時(shí)間：2022-10-09
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【概要描述】 為了培育選樹(shù)具有行業(yè)頂尖技能水平的科技創(chuàng )新先進(jìn)典型，大力弘揚勞模精神、勞動(dòng)精神、工匠精神和科學(xué)家精神，進(jìn)一步激發(fā)廣大科技工作者建功立業(yè)的積極性、主動(dòng)性和創(chuàng )造性，10月8日，中國科學(xué)院工會(huì )舉辦中國科學(xué)院第三屆“科苑名匠”發(fā)布活動(dòng)，全院共12個(gè)團隊和7名個(gè)人被授予中國科學(xué)院第三屆“科苑名匠”稱(chēng)號?？泼耠娮佣麻L(cháng)夏洋榮獲中國科學(xué)院第三屆“科苑名匠”稱(chēng)號。
夏洋老師長(cháng)期專(zhuān)注于集成電路技術(shù)及裝備研究，為微電子所儀器設備研發(fā)中心創(chuàng )始人、嘉興科民電子設備技術(shù)有限公司董事長(cháng)，帶領(lǐng)研究團隊瞄準國家戰略需求，突破了多項關(guān)鍵核心技術(shù)。他在不斷的努力與嘗試中攻堅克難，在多項國家重大科技計劃項目中承擔微電子儀器設備的研發(fā)工作，成功開(kāi)發(fā)出原子層沉積系統、浸沒(méi)式等離子注入機、電感耦合等離子體刻蝕機、365納米i線(xiàn)曝光機等集成電路裝備，同時(shí)研發(fā)出原創(chuàng )變電場(chǎng)原子層沉積、吸附反應外延等裝備，實(shí)現了我國集成電路高端設備的重大突破。研發(fā)的儀器設備在國內外科研單位銷(xiāo)售超千臺，有力的支撐了中科院、北京大學(xué)、清華大學(xué)等百余家高校院所的前沿科學(xué)研究，同時(shí)通過(guò)核心技術(shù)支持和促進(jìn)了我國多家集成電路裝備龍頭企業(yè)的發(fā)展。作為一名老師，他為了能讓學(xué)生更直觀(guān)的了解和掌握微電子儀器操作方法，配套專(zhuān)業(yè)課程專(zhuān)門(mén)研發(fā)了集成電路系列科教融合設備，采用創(chuàng )新的“講授+實(shí)驗”教學(xué)模式，為集成電路工藝技術(shù)培養了大量的工程性專(zhuān)業(yè)人才。