2013-08-12新聞聯(lián)播：我國科學(xué)家實(shí)現微電子領(lǐng)域重大原始創(chuàng )新，復旦大學(xué)張衛團隊成功研發(fā)半浮柵晶體管（SFGT），該結果發(fā)表在國際最權威的《科學(xué)》雜志上。半浮柵晶體管可在多類(lèi)產(chǎn)業(yè)中應用，潛在市場(chǎng)規模達到300億美元以上。更令國人振奮的是，半浮柵晶體管中關(guān)鍵柵隔離介質(zhì)是在我國自主研發(fā)生產(chǎn)的儀器設備上成功完成的（嘉興科民公司的ALD設備）。該設備由中科院微電子研究所夏洋團隊研發(fā)成功（重大科技專(zhuān)項），與嘉興科民電子公司聯(lián)合進(jìn)行開(kāi)發(fā)生產(chǎn)，具有國際領(lǐng)先的性能，已銷(xiāo)往北大、復旦、西安電子科大、南大等多家科研機構及出口美國。該成果表明我國在微電子領(lǐng)域已打破了我國在高端儀器設備受制于人的局面，具備自主開(kāi)發(fā)高端設備，創(chuàng )造重大原創(chuàng )突破的能力。