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科民ALD實(shí)現2.5s/cycle成膜
- 分類(lèi)：公司新聞
- 發(fā)布時(shí)間：2020-06-01
- 訪(fǎng)問(wèn)量：0
【概要描述】科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時(shí)長(cháng)縮減到2.5s
科民ALD實(shí)現2.5s/cycle成膜
【概要描述】科民電子具有勻氣可更換雙腔，1cycle時(shí)長(cháng)縮減到2.5s
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