科民電子集成電路科教融合全套設備助力教學(xué)模式創(chuàng )新

3月24日，我司參加“國科雁棲科創(chuàng )沙龍”高端科學(xué)儀器國產(chǎn)化暨研產(chǎn)用實(shí)踐路徑研討會(huì )，并做題為“集成電路教學(xué)創(chuàng )新模式”的報告。

          報告中詳細介紹了我司研發(fā)生產(chǎn)的國際首創(chuàng )集成電路科教融合全套裝備主要包括：曝光機、高密度等離子體刻蝕機、反應離子刻蝕機、磁控濺射、原子層沉積、等離子體氣相沉積等設備，具有安全可靠、可操作性強、低成本、易維護等特點(diǎn)，可實(shí)現從光刻到薄膜沉積的工藝教學(xué)與開(kāi)發(fā)。