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科民電子推出新一代ALD設備-固態(tài)源ALD
- 分類(lèi)：公司新聞
- 發(fā)布時(shí)間：2022-04-02
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【概要描述】嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設備，攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實(shí)驗數據表明，固態(tài)ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優(yōu)異。
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【概要描述】嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設備，攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實(shí)驗數據表明，固態(tài)ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優(yōu)異。
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科民電子推出新一代ALD設備-固態(tài)源ALD
嘉興科民電子推出固態(tài)ALD設備，攻克低蒸氣壓下固態(tài)源難出源的難題。實(shí)驗數據表明，固態(tài)ALD設備在沉積Ir、Fe、Co、Ni、Cu、Ru、La、Sr等薄膜上表現優(yōu)異。
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