9月6日上午，晶科能源首席科學(xué)家王琪來(lái)嘉興科民電子參觀(guān)指導，微電子設備與儀器工程中心展廳、納米薄膜技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗室、國家發(fā)改委“雙創(chuàng )”支撐平臺項目——面向新一代半導體薄膜材料制備技術(shù)的裝備與器件技術(shù)服務(wù)公共平臺、集成電路產(chǎn)教融合創(chuàng )新平臺。

  科民電子負責人夏洋老師向王琪介紹了工程中心和公司人才團隊引進(jìn)和培育情況、團隊主要研究領(lǐng)域、長(cháng)三角雙創(chuàng )示范基地聯(lián)盟集成電路專(zhuān)業(yè)委員會(huì )運行情況及“雙創(chuàng )”支撐平臺建設情況。工程中心和科民電子公司研發(fā)部負責人名帥強、市場(chǎng)部負責人郭耀亮就主導產(chǎn)品原子層沉積（ALD）系統、物理氣相沉積（PVD ）系統、反應離子刻蝕（RIE）系統等的研發(fā)生產(chǎn)情況、核心競爭力、應用場(chǎng)景、市場(chǎng)占有率等進(jìn)行詳細講解。

  晶科能源首席科學(xué)家王琪表示，ALD是革命性的技術(shù)，在太陽(yáng)能電池組件方便具有不可替代的作用，雙方可發(fā)揮各自?xún)?yōu)勢，進(jìn)行深度合作。

  嘉興科民電子設備技術(shù)有限公司是中國科學(xué)院微電子研究所在嘉孵化的高端裝備制造企業(yè)，主要從事原子層沉積（ALD）設備、集束型薄膜沉積系統（Cluster System）、紫外 LED 光刻機（Lithography）、反應離子刻蝕機（RIE）等高端半導體設備的研發(fā)和生產(chǎn)。公司所研發(fā)的集成電路高端裝備應用于尖端科技，助力客戶(hù)進(jìn)行高尖端科學(xué)研究，客戶(hù)包括清華大學(xué)、北京大學(xué)、復旦大學(xué)、中科院半導體研究所等國內科研單位。

  產(chǎn)品成功通過(guò)大型微電子、MEMS 制造企業(yè)產(chǎn)線(xiàn)驗證，成功應用于高新產(chǎn)業(yè)，成為國內知名企業(yè)主力產(chǎn)品線(xiàn)ALD 工序唯一設備供應商，是國內首個(gè)進(jìn)入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場(chǎng)的原子層沉積機型，打破了進(jìn)口設備在產(chǎn)業(yè)化市場(chǎng)壟斷地位，成功應用到中芯國際、杭州士蘭微、北方夜視，協(xié)鑫納米等企業(yè)。