9月29日下午，嘉興市副市長(cháng)倪滬平蒞臨我司考察調研，市政府副秘書(shū)長(cháng)王榮、市科技局、南湖區政府、嘉興科技城相關(guān)領(lǐng)導陪同調研。科民電子研發(fā)部負責人明帥強、市場(chǎng)部負責人郭耀亮、生產(chǎn)部負責人陶曉俊等參加接待并陪同調研。

  倪滬平副市長(cháng)一行來(lái)到微電子儀器與設備工程中心及嘉興科民電子設備技術(shù)有限公司，詳細聽(tīng)取了負責人對中心的發(fā)展介紹、產(chǎn)品技術(shù)、市場(chǎng)情況，并重點(diǎn)參觀(guān)了集成電路科教融合儀器及教學(xué)創(chuàng )新示范平臺，平臺開(kāi)設晶圓制造、光刻技術(shù)、二維薄膜的制備技術(shù)及實(shí)踐等系列課程，通過(guò)聯(lián)合培養方式已培養碩士研究生超過(guò)30名。

他對中心及科民電子的發(fā)展模式和成效表示充分的肯定，并指出，要發(fā)揮平臺公共服務(wù)作用，加強區域性集成電路領(lǐng)域企業(yè)、投資機構、雙創(chuàng )平臺、科研院所等的交流互動(dòng)、資源共享、合作共贏(yíng)，推動(dòng)區域集成電路產(chǎn)業(yè)的協(xié)同發(fā)展。

  嘉興科民電子設備技術(shù)有限公司是中國科學(xué)院微電子研究所在嘉孵化的高端裝備制造企業(yè)，主要從事原子層沉積（ALD）設備、集束型薄膜沉積系統（Cluster System）、紫外 LED 光刻機（Lithography）、反應離子刻蝕機（RIE）等高端半導體設備的研發(fā)和生產(chǎn)。公司所研發(fā)的集成電路高端裝備應用于尖端科技，助力客戶(hù)進(jìn)行高尖端科學(xué)研究，客戶(hù)包括清華大學(xué)、北京大學(xué)、復旦大學(xué)、中科院半導體研究所等國內科研單位。

  產(chǎn)品成功通過(guò)大型微電子、MEMS 制造企業(yè)產(chǎn)線(xiàn)驗證，成功應用于高新產(chǎn)業(yè)，成為國內知名企業(yè)主力產(chǎn)品線(xiàn)ALD 工序唯一設備供應商，是國內首個(gè)進(jìn)入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場(chǎng)的原子層沉積機型，打破了進(jìn)口設備在產(chǎn)業(yè)化市場(chǎng)壟斷地位，成功應用到中芯國際、杭州士蘭微、北方夜視，協(xié)鑫納米等企業(yè)。